化学工业污水处理与回用设计规范(局部修订条文征求意见稿)
亚利桑那州立大学理工学院校园。
亚利桑那州立大学太阳能实验室的一个研究小组声称已展示了丝网印刷的40微米厚的硅异质结太阳能电池,其效率为20.48%。
《太阳能材料和太阳能电池》上发表的论文《在高效硅异质结太阳能电池的超薄基板上改善表面钝化》中描述了这种电池,该电池基于优化的本征氢化非晶硅薄层,该层通过沉积在晶圆上新的实验程序。
科学家最初在200微米厚的n型Czochralski晶圆上生产了硅异质结样品,然后使用氢氧化钾(KOH)溶液将其降至40μm。通过碱性湿蚀刻使样品纹理化,然后进行酸性清洁工艺。“三腔等离子体增强化学气相沉积(PECVD)簇工具用于沉积6-15 nm厚的本征和n / p掺杂的氢化非晶硅(a-Si:H)层,形成pi / c- Si /堆叠”,研究小组解释说。“首先将p-i叠层沉积在晶圆的一侧,然后将i-n叠层沉积在另一侧。”
用原位氢等离子体处理a-Si:H层以改善化学钝化。使用溅射技术将氧化铟锡(ITO)沉积在电池的正面和背面,并在背面溅射银触点。尽管如此,正面触点还是用银浆丝网印刷的。然后将设备在200摄氏度下退火30分钟。
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